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真空脫氣機的工作原理主要基于亨利定律，該定律指出氣體在水中溶解度與水溫和壓力有關(guān)。在特定溫度下，氣體溶解度與壓力成正比。因此，當系統產(chǎn)生真空時(shí)，水中的游離氣體和溶解氣體就會(huì )被釋放出來(lái)，并通過(guò)自動(dòng)排氣閥排出系統。這樣，脫氣后的水就具有了低含氣量，成為不飽和水，對氣體具有高度的吸收性，從而吸收系統中的氣體以達到氣水平衡。¹²

此外，真空脫氣機還用于去除物質(zhì)中的氣體，其工作原理是通過(guò)減壓將物質(zhì)中的氣體排出，降低物質(zhì)的氣體含量。具體來(lái)說(shuō)，真空脫氣機通過(guò)真空泵的抽吸作用，將物體周?chē)臍怏w抽取出來(lái)，減少物體內部的氣體濃度，形成真空環(huán)境。⁴⁵

在閉合水循環(huán)系統中，真空脫氣機通過(guò)將系統中的一部分液體置于真空環(huán)境下，使液體中的游離態(tài)氣體及溶解態(tài)氣體釋出。然后，這部分已經(jīng)過(guò)脫氣處理的、具有吸收性的液體被注回水循環(huán)系統中，重新吸收系統中的游離態(tài)氣體和溶解態(tài)氣體，以達到新的氣水平衡。³